کاتد مگنترون اسپاترینگ
طراحی و ساخت انواع منابع لایه نشانی( Magnetron Sputtering Source )
توضیحات محصول
منابع مگنترون کندوپاش، شامل کاتد و شیلد فضایی بوده و برای لایه نشانی با روش اسپاترینگ DC و RF طراحی می شوند. دیگر مشخصات این منابع عبارتست از:
- خوردگی بالای تارگت
- نرخ بالای لایه نشانی
- نصب آسان روی سوراخ با ابعاد استاندارد
- قابلیت خنک شدن تارگت با آب
- در اندازه های تارگت 2 ، 3 و 4 اینچی ( در صورت سفارش طراحی خاص برای تارگت های بزرگتر)
- دارای اتصالات آسان آب و ورودی تغذیه برق
