سنسور زاویه ثابت POSITAL مجهز به یک شتاب سنج 2 بعدی MEMS به عنوان سلول حسگر هستند. این نوع شیب سنج در یک سیستم استاتیک یا زمانی که دستگاه...
ویفر SOI یک ویفر نیمه هادی است. این ویفر دارای کیفیت بالا میباشد و در آزمایشگاههای MEMS دستگاههای قدرت سنسور فشار استفاده میشود.