طراحی و ساخت انواع منابع لایه نشانی( Magnetron Sputtering Source )
دستگاه اسپاترینگ DST3 یک سیستم لایه نشانی در خلاء به روش اسپاترینگ (کند و پاش) با محفظه شیشه ای و پمپ توربومولکولار می باشد. این دستگاه ...